鎢燈絲低真空掃描電子顯微鏡是一種利用細(xì)聚焦的電子束在樣品表面掃描,通過(guò)檢測(cè)從樣品表面激發(fā)出的各種信號(hào)來(lái)獲取樣品表面形貌和成分信息的顯微分析儀器。其工作原理主要包括以下幾個(gè)方面:1、電子槍:鎢燈絲低真空掃描電子顯微鏡的電子源通常采用鎢燈絲作為陰極,通過(guò)加熱使鎢燈絲發(fā)射出電子。這些電子經(jīng)過(guò)陽(yáng)極加速,形成高速電子束。鎢燈絲具有較長(zhǎng)的使用壽命和較高的穩(wěn)定性,但相較于其他類型的電子源,其亮度較低。2、電磁透鏡系統(tǒng):電子束經(jīng)過(guò)一系列的電磁透鏡(如聚光鏡、物鏡等)進(jìn)行聚焦和偏轉(zhuǎn),最終將電子...
查看更多