場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,主要用于觀察和分析各種材料的表面形貌、微觀結構和化學成分。其工作原理主要包括以下幾個方面:1、電子源:場發(fā)射掃描電鏡使用場發(fā)射電子槍作為電子源,這種電子槍能夠產生高亮度、高相干性的電子束。場發(fā)射電子槍的原理是利用強電場使得金屬的電子脫離束縛,形成電子束。這種方法產生的電子束具有很高的亮度和較小的能量分散,有利于提高成像分辨率。2、電子光學系統(tǒng):電子束經過一系列的電磁透鏡和光闌,進行聚焦、偏轉和整形,最終形成一個細小的探針。這個探針可以...
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