鎢燈絲掃描電鏡利用鎢燈絲作為電子源,通過電子槍發(fā)射出電子束,經(jīng)過加速和聚焦后掃描樣品表面,收集產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等信號,并將其轉(zhuǎn)換為圖像,從而實現(xiàn)對樣品表面形貌的觀察和分析。鎢燈絲掃描電鏡的分辨率主要與以下幾個因素有關(guān):1、鎢燈絲的直徑:鎢燈絲是光源,其直徑直接影響到電子束的聚焦程度。鎢燈絲的直徑越小,電子束的聚焦程度越高,從而提高了分辨率。2、電子光學(xué)系統(tǒng):電子光學(xué)系統(tǒng)是其核心部分,包括電子槍、透鏡、偏轉(zhuǎn)器等。電子光學(xué)系統(tǒng)的性能直接影響到電子束的聚焦程度和穩(wěn)定性,從...
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